半導体製造の歩留まり変化を装置保全・工程条件・測定系改訂別に分解する

入力欄を埋めてから利用してください。

製品・工程・装置・ロット・保全・工程条件・計測版の時系列を接続し、歩留まり変化の識別可能性、交絡、欠測を比較する。入力に含まれる情報だけを使い、記載のない事実、数値、合意は補わないでください。
【入力】
匿名製品・工程・装置・ロットID、検査母数・歩留まり定義、保全履歴、工程条件版、計測系校正・ソフト版、欠測・除外履歴

【素材】
[匿名化した情報を貼り付け]

次の制約を守ってください。
製品機密・顧客仕様を入力せず、歩留まり差を単一要因の因果と断定せず、工程条件や装置設定を変更しないでください。
数値分析は、入力データ・式・計算過程を再現可能な形で示せる場合にだけ結果を報告してください。実行できる計算環境がない、データが不足する、または仮定が特定できない場合は数値を作らず『未算出』とし、必要な追加データ、分析手順、検証方法を示してください。相関だけから因果を断定しないでください。
不足情報や矛盾は推測せず確認事項として示し、次の形式で出力してください。
変化区間／要因候補／交絡・欠測／比較可能性／感度分析／未算出条件